@InProceedings{SilvaTrav:2015:OtPaDe,
author = "Silva, Bruna Henrique da and Trava-Airoldi, Vladimir Jesus",
affiliation = "ETEP and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de
deposi{\c{c}}{\~a}o de filmes de DLC (Diamond Like Carbon) como
fun{\c{c}}{\~a}o da polariza{\c{c}}{\~a}o e largura do pulso
em superf{\'{\i}}cie Ti6Al4V",
year = "2015",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
abstract = "Com o avan{\c{c}}o tecnol{\'o}gico e a busca por novos materiais
os filmes de carbonotipo diamante (DLC) s{\~a}o recentemente de
grande interesse para grupos cient{\'{\i}}ficos e
tecnol{\'o}gicos, isso deve-se {\`a}s suas propriedades, como
alta ades{\~a}o do filme aos substratos met{\'a}licos, baixo
coeficiente de atrito, diferentes formas e obten{\c{c}}{\~a}o em
grandes escalas. O objetivo deste trabalho est{\'a} centrado na
obten{\c{c}}{\~a}o de uma rela{\c{c}}{\~a}o clara dos
par{\^a}metros de descarga e gera{\c{c}}{\~a}o do plasma em
fun{\c{c}}{\~a}o da alta tens{\~a}o de polariza{\c{c}}{\~a}o
na obten{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC em substratos de liga de
Tit{\^a}nio (Ti6Al4V) geralmente muito usada em
aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais e industriais. Para a
obten{\c{c}}{\~a}o destes resultados, utilizou-se a t{\'e}cnica
de deposi{\c{c}}{\~a}o DC pulsada PECVD (Plasma Enhanced
Chemical Vapor Deposition), esta possibilitou fazer a
modifica{\c{c}}{\~a}o da superf{\'{\i}}cie e ao mesmo tempo
efetuar a deposi{\c{c}}{\~a}o do filme de DLC, efetuando
manobras de trocas in situ de gases e altera{\c{c}}{\~a}o de
par{\^a}metros de nuclea{\c{c}}{\~a}o e de crescimento dos
filmes de DLC. Para isso, foram utilizadas algumas pr{\'a}ticas
laboratoriais, inicialmente com os processos de polimento de
amostras e em seguida, os procedimentos e t{\'e}cnicas de
nuclea{\c{c}}{\~a}o e crescimento dos filmes de DLC e as
respectivas interfaces. As amostras foram caracterizadas pelas
t{\'e}cnicas de Perfilometria {\'o}ptica e ensaios
tribol{\'o}gicos que avaliaram a qualidade dos filmes e
ades{\~a}o com o substrato utilizado.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
conference-year = "30-31 jul.",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3K23HF5",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3K23HF5",
urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}